截至9月1日10:08，上證科創(chuàng)板半導體材料設(shè)備主題指數(shù)上漲0.51%，領(lǐng)漲半導體板塊，成分股華興源創(chuàng)上漲8.10%，滬硅產(chǎn)業(yè)上漲3.13%，華峰測控上漲2.79%，明志科技上漲2.49%，先鋒精科上漲1.70%?？苿?chuàng)半導體ETF（588170）上漲0.49%，最新價報1.24元。

規(guī)模方面，科創(chuàng)半導體ETF最新規(guī)模達5.01億元，創(chuàng)近3月新高，規(guī)模增長194%。

公開信息顯示，科創(chuàng)半導體ETF（588170）及其聯(lián)接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創(chuàng)板半導體材料設(shè)備主題指數(shù)，囊括科創(chuàng)板中半導體設(shè)備（59%）和半導體材料（25%）細分領(lǐng)域的硬科技公司。半導體設(shè)備和材料行業(yè)是重要的國產(chǎn)替代領(lǐng)域，具備國產(chǎn)化率較低、國產(chǎn)替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術(shù)進展。