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上海AI實驗室聯(lián)合團隊攻克芯片核心材料光刻膠穩(wěn)定制備難題

每日經(jīng)濟新聞 2026-05-12 10:22:50

每經(jīng)AI快訊,5月12日,上海人工智能實驗室官微消息,光刻膠作為芯片制造的核心材料之一,其質(zhì)量直接影響芯片的性能和成品率。近日,依托2030新一代人工智能國家科技重大專項總體部署,上海人工智能實驗室(上海AI實驗室)聯(lián)合廈門大學(xué)、蘇州國家實驗室等合作單位基于“書生”科學(xué)大模型與“書生”科學(xué)發(fā)現(xiàn)平臺,構(gòu)建了“AI決策+自動化合成”的閉環(huán)研發(fā)體系,實現(xiàn)了高純度、高一致性、高效率的KrF光刻膠樹脂創(chuàng)制。這一突破使高端光刻膠樹脂的穩(wěn)定制備不再依賴于極少數(shù)國外供應(yīng)商的“黑箱能力”,為全球芯片材料領(lǐng)域探索出一條可標(biāo)準(zhǔn)化、快速迭代的新路徑。目前,上述平臺已支撐多批次自動化合成與性能驗證,批次間一致性得到顯著提升。其中,廈門恒坤新材料科技股份有限公司基于光刻膠配方開發(fā)經(jīng)驗,完成了樹脂適配,產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵指標(biāo)均達預(yù)期后續(xù)將進入客戶端驗證階段。

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